传感器技术研究
1、项目所属技术领域:仪器仪表技术
2、主要内容
⑴对工业变送器用扩散硅压力传感器、OEM通用压力传感器、厚膜压力传感器、石英谐振式称重传感器、InSb霍尔元件、PN结温度传感器、厚膜铂电阻、α-Fe2O3可燃气体传感器、廉价湿度传感器等九种新产品进行工程化研究,建立了九条中试生产线,实现批量生产。
⑵对国民经济急需的力学量、磁学量、温度、化学量、工程配套等五大类传感器的典型产品,进行新品开发,满足国民经济对于新型传感器的需求。
⑶对传感器CAD应用技术、关键制造工艺、微机械加工工艺、可靠性技术等共性关键技术进行研究并在行业推广,提高传感器企业的技术水平。
3、特点该项目的特点是:以国内外市场为导向,以典型产品的传感器工程化为主体。在突破传感器设计、关键制造、微机械加工、可靠性等关键技术的基础上,对于国内市场急需的传感器产品进行生产技术研究,解决生产关键,建立和完善了九条具有一定生产规模的中试生产线,实现了批量生产;同时开发了以半导体材料为主的力、磁、热、湿、气敏等新型传感器。通过攻关,使我国传感器技术的研究、开发水平达到国外九十年代初、中期先进水平。
4、应用推广情况通过传感器工程化研究,共建成九条中试生产线,形成生产能力2000多万只,使18个品种、75个规格的新型传感器实现中试生产。攻关期间累计销售1130多万只,完成销售收入7739万元。同时完成了 51个品种、72个规格的新产品开发,生产各类传感器130万只,销售收入2829万元。共性关键技术开发的CAD应用技术,关键工艺技术,微机械加工工艺,可靠性技术的科研成果已经推广应用到南京中旭微电子公司等7个单位,提高了成果应用单位的设计水平、工艺水平、成品率和可靠性指标,获得综合效益3850多万元。本项目共计形成生产能力2000多万只,攻关期间累计销售各类传感器1260万只,销售收入达到14418万元。